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往复式真空泵通常使用矿物油或合成油作为润滑油。在选择润滑油时，需要根据实际使用情况和制造商的建议来选择。下面是一些常见的往复式真空泵润滑油：
矿物油：矿物油是一种天然的石油产品，具有良好的润滑性能和抗氧化性能。矿物油一般分为SAE 10W、SAE 20W、SAE
30W等不同的粘度等级，可以根据不同的泵型和使用条件选择合适的粘度等级。
合成油：合成油是一种通过化学反应制成的合成润滑油，具有良好的高温稳定性和抗氧化性能。合成油分为多种类型，包括聚醚酯、聚酯、聚α烯烃等。可以根据不同的泵型和使用条件选择合适的合成油类型和粘度等级。
食品级润滑油：如果往复式真空泵用于食品、制药等行业，可以选择食品级润滑油。食品级润滑油是一种为食品加工设备设计的润滑油，符合卫生标准和食品安全要求。
旋片真空泵主要由泵体(静子)和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，有些泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，其外缘与泵腔顶部表面的间隙为2~3微米。转子旋转时，在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子顺时针方向旋转时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小，吸入腔内的气体被压缩，待气体压力大气压力时，推开排气阀排出大气。转子连续转动，泵便不断抽气。
2XZ型旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片，将定子分隔成两个工作腔(高、低级工作腔)，旋转时，2XZ型旋片真空泵靠离心力和弹簧的张力使旋片与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动，使得工作腔容积周期性扩大而吸气，低级工作腔容积周期性缩小而压缩气体，借助气体和油的压力推开排气阀排气，从而获得真空。当吸入压力较高时(例如从大气压开始吸气)，气体在腔被压缩，压力急增，则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀排出，另一部分气体经压缩后通过中壁内的级间通道进入低级腔，再次压缩后从低级排气阀排出，此时高低级腔同时排气;当吸入压强较低时(例如泵工作一段时间之后)，气体由吸气口进入腔，气体在腔内压缩所产生的压力不足以推开辅助排气阀而直接通过级间通道进入低级工作腔，再次压缩后从低级排气阀排出,
